Peripherer Beschleunigungssensor

Funktionsweise des peripheren Beschleunigungssensors

Herzstück des Sensors ist ein mikromechanisches Sensorelement, das aus feststehenden und beweglichen Fingerstrukturen und Federstegen besteht. Das „Feder-Masse-System“ wird mit einem speziellen Verfahren auf der Oberfläche eines Siliziumwafers aufgebaut. In der Messzelle ist die seismische Masse mit ihren kammförmigen Elektroden federnd aufgehängt. Eine lineare Beschleunigung in Sensierrichtung bewirkt eine Änderung des Abstands zwischen den beweglichen und festen Strukturen und damit auch eine Kapazitätsänderung. Diese wiederum führt zu einer Veränderung des elektrischen Signals, das in der Auswerteelektronik verstärkt, gefiltert und für die Übermittlung an das Airbag-Steuergerät digitalisiert wird.